维分离，小血管周围淋巴细胞浸润，血管壁水肿，弹力纤维断裂。此后，血管周围炎性细胞浸润消退，胶原肿胀，小血管及胶原纤维周围酸性粘多糖增加。至后期（硬化期），胶原纤维均质化，与表皮平行的胶原纤维束增加，胶原纤维增生，并向深部扩展。小血管壁增厚，管腔变小以至闭塞。晚期继续发生改变，导致表皮及附属器萎缩，钙盐沉着，筋膜肌肉硬化萎缩等。

内脏病变与皮肤病变基本一致。多系统性硬化：平滑肌（包括食道肌纤维束）呈均一性硬化和萎缩，肠壁肌、心肌也发生广泛萎缩和纤维变性；心内膜、心包膜发生纤维蛋白样变性、炎症浸润及胶原增生；肺间质及肺泡广泛纤维化，并有囊性变；肺小动脉壁增厚，肺泡与微血管基底膜增厚；肾小叶间动脉内膜增生，肾小球基底膜增厚，纤维蛋白样坏死，严重时可见肾小球硬化和肾皮质梗塞；甲状腺也可出现间质萎缩与纤维变性等。